混合压电陶瓷音圈电机主动隔振系统

    微纳光科继续在先进技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。混合压电陶瓷/音圈电机主动隔振系统是专为带高精度电动X-Y平台的高级半导体工具而设计的主要消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能，它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定，以最大限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM，可以缩短稳定时间，进一步提高吞吐量，从而为移动平台应用提供最先进的主动振动和运动消除系统。
 
产品特性：
■ 采用独特的主动隔振专利技术
■ 采用高力、加长行程的压电致动器
■ 有效载荷的位置可重复性在微米以内
■ 框架安装设计
■ 6个主动自由度
■ 通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面（GUI）的高速数字控制器
■ 可选的VCM前馈和/或反馈
■ 始于0.6 Hz的主动隔振
■ 响应平台运动的快速稳定时间
■ 无软空气悬架
■ 简单、坚固且经济高效



模拟VC-C（500μin./s,12.5μm/s）振动测试，负载为1540磅（700kg）