Z向和TipTilt压电扫描台（超薄型）：WNP525

产品概述

WNP523S / WNP524S / WNP525S / WNP526S是采用压电陶瓷驱动的Z向和Tip/Tilt扫描台，平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，补偿量小，确保了平台极佳的运动精度和超高的稳定性。平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设计，且中央通孔较大，可更好的集成于显微及扫描系统中。
典型应用：快速反射镜系统(FSM)作为发射光源与接收端之间控制光束传播方向的精密光学仪器，集光、机、电技术于一身，内置的精密压电扫描台作为核心部件发挥着重要的作用，凭借其高精度、高分辨率、快速响应等优点，已被广泛应用于天文望远镜、激光通讯、自适应光学、复合轴精密跟踪等领域。

产品特点
外形尺寸为150 x 150 x 18mm ；中空尺寸为80 x 80mm ；超薄设计，易于集成 ；分辨率为7.5nm / 7.5nm / 12nm / 12nm ；高稳定性 ；快速响应 ；优异的导向精度 ；内置高性能的压电陶瓷  ；行程为 θxθy2mrad x Z300μm / θxθy3mrad x Z500μm ；开/闭环可供选择
 
产品应用
光学•光刻•干涉•扫描显微镜•度量衡学•激光技术•微加工•存储设备的测试