二维并联压电平移台：WNP645

产品概述
WNP645S 是采用压电陶瓷驱动的二维并联纳米级精密定位平移台，平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，确保了平台极佳的运动精度。平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。平台内部采用并联式结构设计，结构紧凑，所有促动器作用在同一个移动台面上，可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构，并联结构有着更轻的质量，更低的惯量和更高的动态性。中空式设计，且中央通孔较大，可更好的适用于显微及扫描系统中。

产品特点
外形尺寸为150 x 150 x 30mm ；中空尺寸为60 x 60mm ；优异的导向精度 ；行程为 XY150μm / XY300μm  / XY500μm ；分辨率为3.5μm / 7.5μm / 12μm ；高稳定性 ；快速响应 ；出色的扫描平面度 ；内置高性能的压电陶瓷 ；开/闭环可供选择

产品应用
扫描显微镜•干涉•晶圆定位•度量衡学•生物技术•显微光学•激光技术