压电物镜扫描台（大负载）：WNP216

产品概述
WNP216S是采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台，扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，确保了扫描台极佳的运动精度。扫描台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。分立的螺纹适配器，可适配多种型号的物镜。

产品特点
聚焦行程为100μm ；分辨率为2.5nm ；大物镜的高动态定位和扫描 ；快速响应 ；聚焦稳定性高 ；优异的导向精度 ；适配器使用灵活 ；最大螺纹接口M32 ；内置高性能的压电陶瓷 ；开/闭环可供选择

产品应用
三维成像技术•筛选•自动对焦系统•显微镜•共聚焦显微镜•表面分析•晶圆检验