— 压电纳米显微镜载物台及应用 —
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压电纳米显微镜载物台及应用
产品特点 1.直驱方式,无空回误差 2.可在断电状态下长时间保持在同一位置 3.全闭环光栅反馈,重复定位精度优于0.5um(有0.5um 和0.05um 分辨率两个系列的标准品) 4.灵活的平台控制程序
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