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此产品通过X、Y、Z三轴移动来调整刮刀位置，由力传感器来感应刀片下降过程所受到的力大小，从而完成刮涂硅片的工作。 描述 规格 X轴 Y轴 z轴 结构描述 行程 200mm 200mm 100mm 台面尺寸
产品详情
此产品通过X、Y、Z三轴移动来调整刮刀位置，由力传感器来感应刀片下降过程所受到的力大小，从而完成刮涂硅片的工作。
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描述 |
规格 |
X轴 |
Y轴 |
z轴 |
|
结构描述 |
行程 |
200mm |
200mm |
100mm |
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台面尺寸 |
115x115mm |
115x115mm |
115x115mm |
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主体材料 |
铝合金 |
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表面处理 |
阳极氧化发黑 |
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台面承载 |
7kg |
7kg |
15kg |
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精度描述 |
最大速度 |
25mm/sec |
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重复定位精度 |
1μm |
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绝对定位精度 |
3μm |
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回程间隙 |
2μm |
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